產(chǎn)品中心
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服務(wù)范圍
15 +
years of
experience
工業(yè)服務(wù):MEMS代工，微納尺度制造，硬脆材料高精度切割、高精度打孔、光柵、光波導(dǎo)、高精度打標(biāo)等。致力于用戶需求、開發(fā)了基于生物芯片、微流控芯片、晶圓打孔等系統(tǒng)性解決方案；立足于在加工和檢測領(lǐng)域的深厚積累、開發(fā)高質(zhì)量工藝流程，努力為企業(yè)客戶提供更專業(yè)、更優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。
科研服務(wù):飛秒激光直寫制造工作站，DLP光刻系統(tǒng)，DMD全息光刻系統(tǒng)，激光加工過程監(jiān)測系統(tǒng)，殘余應(yīng)力和內(nèi)應(yīng)力檢測設(shè)備，專業(yè)級晶圓缺陷檢測儀，共聚焦光譜成像表征系統(tǒng)。自研皮秒激光器能量可達(dá)10mj、半導(dǎo)體CW激光器、PLW自動化光譜儀系統(tǒng)、活體成像系統(tǒng)、微區(qū)角分辨光譜系統(tǒng)；同時(shí)代理高能量固體飛秒激光器，超快激光加工系統(tǒng)，超快時(shí)間分辨Pump-Probe系統(tǒng)，科研級深度制冷CCD、SCMOS、InGaAs、ICCD、EMCCD……等。
應(yīng)用和解決方案
飛秒激光直寫多芯光纖布拉格光柵
聚焦紅外范圍的?秒激光脈沖（(λ = 800 nm, Δt =150 fs, f = 1 kHz, Ep = 100 nJ)）通過?數(shù)值孔徑物鏡聚焦到單模纖芯區(qū)域…
用于混合光子集成的自由形式耦合元件的原位 3D 納米打印
可實(shí)現(xiàn)邊緣發(fā)射激光器和單模光纖之間高達(dá) 88% 的耦合效率；同時(shí)適應(yīng)光束形狀和傳播方向的印刷自由曲面反射鏡…
超弱反射光纖布拉格光柵陣列的飛秒激光逐點(diǎn)直寫大規(guī)模制備
通過飛秒激光透過光纖涂層刻寫 PbP，在傳統(tǒng)單模光纖 (SMF)中成功制造出峰值反射率低至 ～ – 45 dB（相當(dāng)于 ～0.0032%）的 UWFBG…
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